用于實(shí)現(xiàn)至高精度的測量機(jī)

ZEISS XENOS

ZEISS XENOS介紹

XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用--從科研機(jī)構(gòu)的測量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測量機(jī)的測量精度達(dá)到技術(shù)極限，其測量范圍近1立方米。

虛擬中央驅(qū)動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的中央驅(qū)動技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力。

作為控制系統(tǒng)及算法結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運(yùn)動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

所有軸均采用線性驅(qū)動

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點(diǎn):高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。

例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)越出色的精準(zhǔn)性。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機(jī)器上得到使用。

與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。